原理：激光刻蚀的原理是将高能量激光束聚焦在物体表面，利用激光的高能量密度使物体表面的物质以气化、熔化等形式被去除，从而在激光束的控制下逐渐形成一个图案或文字。
主要功能特色：皮秒紫外激光加工系统适用于超薄金属材料（铜、金、银、铝、钛、镍、不锈钢、钼等）、柔性材料（PET、PI、PP、PVC、铁氟龙、电磁膜、胶膜等）、石墨烯、碳纤维、硅片、陶瓷、FPC等材料的切割、打孔、表面微结构（仿生结构）、划线、刻槽处理，以及高分子材料、复合材料的微加工处理。设备用途广泛，适用性极广，可实现上述各类型材料表面微加工处理，可定制化控制深度、宽度，实现对材料的表面剥离刻蚀、刻线、划槽、打孔、切割等功能。
1.核心指标：刻蚀芯片AU层对底部 IT0 损伤电阻小于1欧，刻蚀最小线宽10 微米。
2.光学系统
1）激光器:皮秒紫外激光器(整个外光路密封)；
2）激光器功率：10W；
3）波长：355nm；
4）激光器频率调节范围：1Hz-1MHz；
5）激光器脉宽:<15ps；
6）激光器单脉冲能量：50u.j@300khz：
7）激光器光束直径：2.5±0.5mm；
8）光束质量：TEMOO(M2<1.3)：
9）激光器功率波动稳定性：RNS<2% RMS over 12 hours：
10）扩束镜：4倍：
11）扫描振镜：10mm通光孔经；
12）透镜幅面：40*40mm；
13）聚焦光斑：10μm；
14）刻蚀最小线宽：10μm；
15）最小线间距：≥10μm；
2.运动控制系统
1）直线电机：垂直度±5μm/300mm、直线度±3μm、加工幅面 300*300mm向下可兼容 20*20/10*10/5*5cm 等任意尺寸、XY直线电机定位精度±2μm、XY直线电机重复精度±1μm、XY最大速度 1000mm/s；
2）Z轴电机：Z轴步进电机50mm行程(可兼容0.01-40mm基材厚度)
步进电机精度±5μm；
3）旋转平台：平台直径300mm、载重80kg、重复定位精度<0.005°。
1.送样要求：联系设备管理员并告知样品详情。
2.预约说明
a.需要至少提前一天联系设备管理员完成预约；
b.由特定人员完成加工，其他人不得随意操作仪器。
3.预约时间
研究院内：工作日上午8:30-11:30，下午2:00-4:30（国家双休日、法定节假日除外）
研究院外：工作日上午8:30-11:30，下午2:00-4:30（国家双休日、法定节假日除外）
