原子层沉积系统

华中院公共检测平台（科创楼1楼）

王杨波

15057358582

Savannah G2

维易科（Veeco）

2022-05-16

正常

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原子层沉积技术是指通过将气相前驱体交替脉冲通入反应室并在沉积基体表面发生气固相化学吸附反应形成薄膜的一种方法。原子层沉积系统可满足微电子、能源、信息等领域应用的薄膜制备需求。