原理：扫描电子显微镜 (SEM) 是一种介于 透射电子显微镜 和 光学显微镜 之间的一种观察手段。 其利用聚焦的很窄的高能 电子束 来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用产生二次电子、背散射电子等特征信号, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。 主要功能特色：用于测定微观形貌、元素组成及分布、颗粒粒度等参数，广泛应用于化学、材料、医药和光电子等领域。
分辨率：二次电子探头3.0nm（30kV）；8nm（3kV）；15nm（1kV） 背散射电子探头：4.0nm（30kV）BEI 加速电压：0.5-30kV连续可调 放大倍率：5X-30000X 电子枪：钨灯丝 样品台尺寸：直径不小于150mm的样品 样品台：全对中马达驱动样品台功能 行程：X=80mm，Y=40mm，Z=5-48mm 倾斜：-10° -+90° 旋转：360° 成像模式：同时得到二次电子像、背散射电子像，两种图像任意比例混合像，在一种图像中任意位置显示另外一种图像。
1.送样要求： A.样品必须干燥、无挥发性、无毒无污染、无磁性、无放射性、耐电子束轰击。 B.粉末要求在10mg左右；液体需烘干和研磨后寄样；块体要求长、宽、高均低于1 cm（样品尽可能小一点）。测试前请标明测试面，如需测截面，请提前制好截面。（块体样品如需同时拍摄平面和截面，请制备两个样品） C.镀金：对于绝缘体或导电性差的材料需进行喷金处理，否则影响拍摄效果。（如需打能谱，请尽量避免与待测元素重合）。 D. 磁性说明：含铁、钴、镍、锰等磁性元素均视为磁性样品，磁性样品原则上不做。（如因隐瞒样品信息导致仪器损坏，需要您承担相应的赔偿责任）。 E.如有其他疑问（如电压、分辨率、样品拍摄倍数等），请提前联系仪器管理老师。
